半導体露光装置や液晶露光装置などにおいて、ナノメートルレベルの位置決めを可能にするために、ピコメートル分解能のリニアエンコーダが開発され、市販されています。
これまで、リニアエンコーダに関する標準は整備されておらず、性能評価は各メーカーに任されてきましたが、リニアエンコーダの高性能化が進むにつれて、特にその非線形誤差-を評価する必要性が高まってきました。
そこで、分解能１ナノメートル(百万分の一ミリ)以上の超分解能リニアエンコーダを校正することができるシステムを開発しました。
（ＹｏｕＴｕｂｅ【ＡＩＳＴ：産総研＝独立行政法人産業技術総合研究所】公式チャンネルの動画解説文より）
産総研公式Web ⇒
http://www.aist.go.jp/index_ja.html
